Nitru de siliciu de nivel înalt din metal

Nitru de siliciuFilmele subțiri au o structură densă, o rezistență ridicată și o rezistență bună la uzură și pot fi utilizate ca componente structurale în dispozitivele MEMS. Modulul Young și duritatea filmelor de nitrură de siliciu au fost testate prin metoda PECVD, iar efectele temperaturii depunerii și a raportului de debit de gaze de reacție asupra modulului Young și duritatea filmelor au fost analizate. Filmul de nitrură de siliciu a fost utilizat ca fascicul de suspensie pentru fabricarea întrerupătoarelor RF MEMS.

1.Nitru de siliciuCeramica este ceramică structurală de temperatură ridicată și de înaltă rezistență, cu perspective largi de dezvoltare. Are performanțe ridicate (cum ar fi rezistență ridicată, stabilitate bună a șocului termic, duritate ridicată a oboselii, rezistență la flexie ridicată la temperatura camerei, rezistență la uzură, rezistență la oxidare, rezistență la coroziune etc.) și a fost utilizat pe scară largă în toate punctele de viață. Metodele de preparare a nitrurii de siliciu includ în principal sinterizarea reacției (RS), sinterizarea presiunii la cald (HPS), sinterizarea presiunii atmosferice (PLS) și sinterizarea presiunii pneumatice (GPS). În prezent, principala problemă este că produsele ceramice cu nitru de siliciu au o duritate scăzută și costuri mari. În viitor, este necesar să se îmbunătățească procesele de frezare, modelare și sinterizare și compunerea de nitrur de siliciu și carbură de siliciu pentru a dezvolta o mai bună ceramică cu nitru de siliciu.

Tag-uri populare: Nitru de siliciu metalic de nivel înalt, China Producători de nitruri din siliciu de nivel înalt, furnizori, fabrică