Nitru de siliciu cu material înalt

În condiții îndepărtate, pulberea de siliciu poate fi complet azotată în procesul SHS pentru a generaNitru de siliciu, iar produsul are un conținut ridicat de azot și un conținut scăzut de oxigen, dar este faza. În reacția shs shs silicon, trebuie adăugată o cantitate adecvată de si _3 n _4; Viteza de propagare a undei de ardere SHS a siliciului crește odată cu creșterea presiunii de azot și scăderea densității de umplere a reactanților, dar este independentă de compoziția reactantă și diametrul eșantionului. Temperatura undei de ardere a crescut odată cu creșterea presiunii de azot și creșterea diametrului eșantionului, care a fost independentă de compoziția reactanților și de densitatea de umplere.

1.Nitru de siliciuFilmele au fost preparate prin utilizarea tehnologiei de depunere a vaporilor chimici plasmatici (PECVD) în condiții diferite de depunere (intervalul de temperatură a substratului de 20 ~ 180 grade și puterea RF de 10 ~ 30W), iar efectele condițiilor de depunere asupra proprietăților și proprietăților impermeabile ale filmelor cu nitru de siliciu. Rezultatele experimentale arată că, odată cu creșterea temperaturii substratului, densitatea, indicele de refracție și raportul Si/N dintre filmele de nitrură de siliciu cresc corespunzător, în timp ce rata de depunere și conținutul de H scad corespunzător. Odată cu creșterea puterii RF, rata de depunere, densitatea, indicele de refracție și raportul Si/N al filmelor de nitrură de siliciu cresc corespunzător, în timp ce conținutul de H scade corespunzător. Experimentul de permeare a vaporilor de apă arată că, chiar dacă temperatura substratului este redusă la 50 de grade, filmul de nitrură de siliciu depus are încă performanțe impermeabile. Rezultatele experimentale arată că filmele de nitrură de siliciu la temperaturi scăzute pot fi aplicate în mod eficient la ambalarea dispozitivelor organice de emisie a luminii (OLED).

Tag-uri populare: Nitru de siliciu de la nivel înalt, din China, materiale înalte, producători de nitruri de siliciu, furnizori, fabrică