Metal de siliciu metalic de nivel înalt 553

O metodă de auto-aliniere pentru fabricarea Metal de siliciu 553 iS a folosit pentru a forma o structură de poartă și o regiune sursă/de scurgere pe substrat în secvență. După aceea, etapa de implantare ionică este realizată pentru a implanta ioni metalici pe suprafața structurii porții și a suprafeței regiunii sursă/scurgere. Apoi, două procese de tratare termică sunt efectuate pentru silicificarea ionilor metalici și a siliciului de pe suprafața structurii porții și a suprafeței regiunii sursă/scurgere și formează un strat de silicid metalic extrem de conductiv pe suprafața structurii porții și Suprafața regiunii sursă/de scurgere. Printre aceștia, ionii metalici pot fi cobalt, titan, nichel, platină sau paladiu.

1.O metodă pentru eliminarea borului înMetal de siliciu 553În Transfer Ladle. Acesta cuprinde: în primul rând, metalul de siliciu lichid redus din cuptorul scufundat este transferat la lipsa de transfer; Apoi, gazul mixt preîncălzit este aruncat în metalul de siliciu lichid din partea inferioară a scădei de transfer, iar gazul mixt este compus din oxigen de înaltă puritate, vapori de apă, argon; După o reacție deplină și îndepărtarea impurității, metalul lichid de siliciu curge din partea de jos a scădei de transfer și este turnat pentru a obține metal de siliciu de înaltă puritate. Prezenta invenție suflă oxigenul de înaltă puritate, vaporii de apă și gazul mixt de argon din partea inferioară a scădei de transfer în metalul de siliciu în stare topită, prin preîncălzirea oxigenului de înaltă puritate la temperaturi ridicate și efectul eliminării boronului și fosforului impuritățile sunt evidente, iar cealaltă parte a impurităților sunt oxidate pentru a genera substanța ușor de jucat pentru a fi transportată de gaz sau plutind pe suprafața suprafeței de Metalul de siliciu lichid, astfel încât impuritățile din metalul de siliciu să fie reduse semnificativ. În comparație cu alte metode de eliminare a borului, această tehnologie are avantaje economice evidente, care pot reduce considerabil consumul de energie, scurtează procesul de îndepărtare a impurității și pot realiza producția industrială de metal silicon cu costuri reduse și de înaltă puritate.

Tag-uri populare: Metal de siliciu metalic de nivel înalt